多晶硅的生产技术主要为改良西广]子法和硅烷法。西]子法通过气相沉积的方式生产柱状多晶硅,为了提高原料利用率和环境保护,在前者的基础上采用了闭环式生产工艺即改良西门子法。该工艺将工业硅粉与HCI反应,加工成SiHCI3,再让SiHCI3在H2气氛的还原炉中还原沉积得到多晶硅。还原炉排出的尾气H2、SiHCI3、 SiCl4、SiH2Cl2 和HCI经过分离后再循环利用。硅烷法是将硅烷通过以多晶硅晶种作为流化颗粒的流化床中,使硅烷裂解并在晶种上沉积,从而得到颗粒状多晶硅。改良西门子法和硅烷法主要生产电子级晶体硅,也可以生产太阳能级多晶硅。

O 硅粉过滤器

O 尾气回收(CDI)过滤器

 
O 冷氢化装置压缩机入口过滤器